超分辨光刻裝備研制項(xiàng)目通過驗(yàn)收，光刻分辨力達(dá)到22納米！

2018年11月29日，由中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨光刻裝備研制”順利通過驗(yàn)收。驗(yàn)收專家組由中國科學(xué)院理化技術(shù)研究院許祖彥院士擔(dān)任組長。該項(xiàng)目組結(jié)合實(shí)際應(yīng)用需求，通過技術(shù)的延伸，實(shí)現(xiàn)了系列化的超分辨光刻裝備研制，解決了多種微納功能材料和器件的加工難題，并實(shí)現(xiàn)了相關(guān)器件的制造，相關(guān)器件已在多家科研院所和高校的重大研究任務(wù)中取得應(yīng)用。 H[yLlv  
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微納光刻技術(shù)是現(xiàn)代先進(jìn)制造的重要方向，是信息、材料等諸多領(lǐng)域的核心技術(shù)，其水平高低也是體現(xiàn)一個(gè)國家綜合實(shí)力的標(biāo)志。然而，由于歷史原因，我國在此領(lǐng)域長期落后于并受制于西方發(fā)達(dá)國家;另外一方面，光學(xué)超材料、變革性光學(xué)等諸多顛覆性技術(shù)的出現(xiàn)，迫切需要發(fā)展專用的微納制造工具。 5?Ao9Q]@  
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