你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子。
鏡片數(shù)22片
物高31mm
物方數(shù)值孔徑NA 0.2
波長為UV
像方晶圓尺寸是12.66mm
總長小于1200mm
這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。
首先，我們將使用DSEARCH為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：
Here is the input for DSEARCH:
CORE 14 TIME
DSEARCH 2 QUIET
SYSTEM
ID DSEARCH LEFT UNI MM
OBA 15 31 3 31
OSNA .2 TCO
WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC
END
GOALS ELEM 11
TOTL 600 .1
TOPD .01
NPASS 50
QUICK 20 50
ANNEAL 50 10 Q
SNAP 10
RSTART 1000
ASTART 25
THSTART 12
FOV 0 .5 .707 1
FWT 1 1 1 1 END
SPECIAL PANT
CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
CUL 1.6
FUL 1.6 END
SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
M 0 .1 A SAP
M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END
GO TIME
返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。
使用命令為：
SAVE LEFT11.
SAVE LEFT11.
現(xiàn)在激活A(yù)CON 2，我們使用DSEARCH來設(shè)計(jì)右半邊的鏡片組，輸入命令如下：
CORE 14 TIME
DSEARCH 3 QUIET
SYSTEM
ID DSEARCH RIGHT UNI MM
OBB 0 4 83.36
WAVL .354732 .354712 .354692 END
GOALS ELEM 11
TOTL 600 .01
FNUM 1
BACK 11 SET
TOPD .01 STOP FIRST STOP FIXED NPASS 50
QUICK 20 50
ANNEAL 50 10 Q
SNAP 10
RSTART 1000
ASTART 25
THSTART 12
FOV 0 .5 .707 1
FWT 1 1 1 1 END
SPECIAL PANT
CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
CUL 1.6
FUL 1.6 END
SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
M 0 1 A P HH 1
M 0 10 A P YA 1 S GIHT
M 0 10 A DI3 END
GO TIME
結(jié)果很好，我們保存了這個(gè)鏡頭，使用命令：
SAVE RIGHT11.
SAVE RIGHT11.
現(xiàn)在把這兩部分合并起來。再次激活A(yù)CON 1，并輸入：
COMBINE 23
RIGHT11
現(xiàn)在它們被合并成了一個(gè)鏡頭。
現(xiàn)在它們被合并成了一個(gè)鏡頭。
現(xiàn)在打開由DSEARCH為右半部分鏡片組準(zhǔn)備的優(yōu)化宏，修改TOTL的設(shè)置，指定1200mm長度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。還為后焦添加一個(gè)控制目標(biāo)，現(xiàn)在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后運(yùn)行宏并模擬退火(33,2,50)。鏡頭得到了改進(jìn)。
我們有了一個(gè)非常好的微光刻鏡頭。
很高興您選擇SYNOPSYS來設(shè)計(jì)您的鏡頭，它可以快速的做出非常好的設(shè)計(jì)。
[ 此帖被optics1210在2019-01-25 00:51重新編輯 ]
