[求助]為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜？ [復(fù)制鏈接]

學(xué)到了知識呀，論壇就是好

溫度三百度? 沒用IAD嗎?

如果250度是標(biāo)定過的溫度，脫膜有可能：1 表面清潔不好；2，返油，真空度不好；3，鍍制速率；4，膜層應(yīng)力不匹配。 +L#Q3}=s  
檢驗(yàn)?zāi)さ睦喂潭龋阂话悴潦眉纯�；按�?biāo)準(zhǔn)，則需用膠帶粘拉。 etH]-S  

學(xué)到了知識呀，論壇就是好哇

離子源清洗，和倉體潔凈度

溫度應(yīng)該夠了，看看你的材料參數(shù)有沒有問題！估計(jì)你是沒有離子源的設(shè)備，所以不考慮離子源問題！

yangyangyang:看來大家用的油擴(kuò)散泵比較多，怪不得一爐要那么久。 J` J^C  
如果我和你們說我現(xiàn)在一爐40分鐘，你們誰信，哈哈。 LCMCpEtY*K  
你的問題在于以下幾點(diǎn)： -$
js5Gx1  
1，腔室的潔凈做好沒有？ #A '|O\RGP  
2，離子源的轟擊時間多少？ Rg!Fu  
....... (2014-06-17 20:01)   DlWnz-  

F qW[L>M'  
40分鐘一爐，看做什么膜系吧。我用日本昭和的機(jī)器，雙面AR，全部鍍完，56分鐘。

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