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為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜?
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為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜?
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ychm1002
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樓主
發(fā)表于: 2007-01-30
我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2 基底溫度是250度
Jiq[VeLe
前幾天我的基底溫度是260度,但不脫膜~~10度應(yīng)該不會至于脫膜吧
{wI0 =U
希望各位高手指教 謝謝!!
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zmc326
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1樓
發(fā)表于: 2007-03-23
兄弟:增透膜的蒸鍍溫度一般都是300度左右呀,你的溫度這么低,不脫才怪呢。
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nolla68
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2樓
發(fā)表于: 2007-03-24
那有很多關(guān)係,其中基板的清潔是相當(dāng)重要的,另外鍍膜時(shí)的真空(gas in)及其他的因素都會導(dǎo)致脫膜
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wangxingyu
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發(fā)表于: 2007-04-08
看看離子源有沒有問題
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wolfliu
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4樓
發(fā)表于: 2007-04-09
學(xué)到了知識呀,論壇就是好哇
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lgciom
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5樓
發(fā)表于: 2007-04-09
如果基底實(shí)際溫度達(dá)到了250,一般增透膜的溫度已經(jīng)夠了。脫膜的因素很多,先看看返不返油吧
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gp11
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6樓
發(fā)表于: 2007-04-22
加溫的時(shí)間夠不夠,玻璃尺寸大的話最好到300度,持續(xù)1個(gè)半小時(shí)
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清洗小卒
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7樓
發(fā)表于: 2007-05-08
清洗力度不夠也會造成脫膜,不過還是和鍍膜時(shí)的溫度有很大的關(guān)系
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jojo_g
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8樓
發(fā)表于: 2007-05-16
脫膜。。。增透 基地溫度要在250度以上 基地清潔度要高!
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dede
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JBM1是什么?
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