摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié) {b]V
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波前方差是像質(zhì)的有用度量,VARIANCE命令可以計算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置,在該位置方差被最小化,如果該分析是多色的,從所請求的色差或主色差的主要光線點測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似,只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的透鏡,比如顯微光刻物鏡,我們希望控制這個位置,而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: D"GQlR
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS CW;=q[+w
M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS y/6%'56uF
M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS %b3s|o3An
M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS F*/J`l
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS wD`jks
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS |7E1yu
它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點到像點的距離,接近衍射圖樣的峰值。參考點是在請求的色差中,或如果請求多色“M”則在主色差中,在請求的視場角處的主光線點。WVAR返回波前方差,WSTD返回方差的平方根,即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。 3q$"`w
IPX和IPY是相關(guān)的,但是不同。在這里,程序找到像點,然后也找到軸上物體的對應(yīng)點。返回值是X和Y的差值,單位是透鏡單位。因此,如果軸上像是完美的,計算返回在請求的視場處像點的位置。如果軸上像點有非零坐標(biāo)(例如,由于軸向彗差),從該點而不是從頂點測量返回值。因此,為了控制畸變,目標(biāo)是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。
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用VARIANCE進行計算,追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。 ]c$)0O\O