摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié)
Ca |}i+ 波前方差是像質的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、
標準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請求的色差或主色差的主要
光線點測量。這是對
衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個
波長。對于畸變非常重要的
透鏡，比如顯微光刻
物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
s$fM,l: ! M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
o0r&w;! M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
A]bb*a1 M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
'w:ugb9] M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
O=Su
E/q M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
MIJuJ]U} M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
= 3(v4E':5 它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點到像點的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點是在請求的色差中，或如果請求多色“M”則在主色差中，在請求的
視場角處的主光線點。WVAR返回波前方差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標準偏差。
S
m(*<H
