波前差是像質的有用度量,VARIANCE命令可以計算方差、
標準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置,在該位置方差被最小化,如果該分析是多
波長的,從所請求的色差或主波長色差的主要
光線點測量。這是對
衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似,只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的
透鏡,比如顯微光刻
物鏡,我們希望控制這個位置,而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
@q/1m~t M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
@MB _gt)7? M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
+Rgw+o M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
$ rYS M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
xLI{=sL M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
;8iL,^.A M TAR WTA { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS
F2$bUY 它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點到像點的距離,接近衍射圖樣的峰值。參考點是在請求的色差中,或如果請求多波長“M”則在主波長色差中,在請求的視場角處的主光線點。WVAR返回波前差,WSTD返回方差的平方根,即波前的標準偏差。
r^t{Ii~ IPX和IPY是相關的,但是不同。在這里,程序找到像點,然后也找到軸上物體的對應點。返回值是X和Y的差值,單位是透鏡單位。因此,如果軸上像是完美的,計算返回在請求的視場處像點的位置。如果軸上像點有非零坐標(例如,由于軸向彗差),從該點而不是從頂點測量返回值。因此,為了控制畸變,目標是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。
CS\tCw\Y 用VARIANCE進行計算,追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。