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    [轉(zhuǎn)載]synopsys中基于方差的像差 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-05-29
    波前差是像質(zhì)的有用度量,VARIANCE命令可以計(jì)算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個(gè)量給出了參考球面中心的位置,在該位置方差被最小化,如果該分析是多波長(zhǎng)的,從所請(qǐng)求的色差或主波長(zhǎng)色差的主要光線點(diǎn)測(cè)量。這是對(duì)衍射圖樣的峰值位置的一個(gè)有用的近似,只要OPD誤差小于一個(gè)波長(zhǎng)。對(duì)于畸變非常重要的透鏡,比如顯微光刻物鏡,我們希望控制這個(gè)位置,而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個(gè)更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: bf}r8$,  
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