synopsys光學設(shè)計
軟件中的鬼像控制
&dDI*v+ yXo0z_ G 鬼像是由一個或多個折射面反射引起的。SYNOPSYS可以評估和控制兩種類型的鬼像：GHOST程序可以確定在像面上哪個表面組合對鬼像負責，BGI可以評價在
透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個位置處形成的鬼像的特性。
M2P@ & 為了從選擇的近軸鬼像控制圖像的彌散斑的大小，輸入
Q1\k`J M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL
G,|]a#w&v. M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL
1( 7.V-(G 第一個是PGHOST，用于控制物空間中一個點的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況，其中在視場的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像。第二個是PUGHOST，用于控制入瞳上的點的鬼像的大小。
'Mx K}9 假設(shè)由表面15和表面9的反射產(chǎn)生的鬼像在像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰，可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強度。假設(shè)想讓鬼像的彌散斑半徑不小于5 mm。以下是如何在AANT文件輸入中將其定位為這個值:
R:B BNzY}f M 5 1 A PGHOST15 9
3H}~eEg, 由于較大的鬼像不是缺陷，因此提供單側(cè)像差常常較好:
S*m`' LL 5 .1 4 1
/u XRZ A PGHOST 15 9
AKC foJ 在這里，如果鬼像半徑為5.0，缺陷值為0.1；如果半徑為4.0，缺陷值為1.0。注意，像差的返回值總是正的，因此目標值也應(yīng)該是正的。
qTh='~m4[ 如果使用此特性進行
優(yōu)化，請不要打開開關(guān)47。該選項用于對單個鬼像進行詳細分析，如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化，則會產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。
\M"^Oe{Dy? 與GHOST命令類似，如果開關(guān)49打開（但不用于PUGHOST），該特性將通過所估計的衍射斑半徑增大所計算的近軸鬼像半徑。
j[J@ tM# 也可以控制在
鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大�。ㄒ粋�"隱藏的鬼像"）。這在高功率
激光系統(tǒng)中是有用的，來自透鏡表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能會對元件造成損傷。這種控件的輸入是
