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    [下載]求助光馳機離子源結(jié)構(gòu)原理資料 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-06-24
    RT求助一份光馳離子源學(xué)習(xí)資料，更全面的了解和學(xué)習(xí)其工作原理以及設(shè)計的結(jié)構(gòu)
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-06-24
    離子源機械結(jié)構(gòu)很簡單，難點在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-06-24
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:離子源機械結(jié)構(gòu)很簡單，難點在于控制（氣體，電壓，電流，RF匹配）和柵網(wǎng)的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  pF