[求助]IBS鍍制的TA2O5折射率過高的原因 [復(fù)制鏈接]

我用99.9%的TA靶材，離子濺射鍍制的TA2O5薄膜折射率為2.18（波長633處），明顯高于理論值，請問有哪些可能的原因呢？

沒有鍍膜大師幫幫我解惑嗎？ $z*'fXg  
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內(nèi)容來自[新鮮事]

你是怎么測量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ (,Df^4%7  

膜料的折射率都是一個參數(shù)一個結(jié)果，只要你測量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來什么理論值？

我愛小灰寶:你是怎么測量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ 2OR{[L*  
 (2019-07-27 16:48)  T\j{Bi5 \J  

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用透射光譜擬合反算的。

yzhuang:膜料的折射率都是一個參數(shù)一個結(jié)果，只要你測量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來什么理論值？ (2019-07-31 11:03)  #W'HR
 

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我這是把塊料的折射率當(dāng)作理論值，好像是2.06吧。

tcyt333:用透射光譜擬合反算的。 (2019-08-09 17:03)  `m>*d!h=  

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如果測透過來計(jì)算光學(xué)常數(shù),無論TFC還是MAC用透過或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫自身,特別是目前用透過率計(jì)算,國產(chǎn)透過議也就能測測產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過儀如果精度差(這個精度相對誤差非常小才行),折射率有可能高有可能低,然后影響你整個帶寬.

knight627:如果測透過來計(jì)算光學(xué)常數(shù),無論TFC還是MAC用透過或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫自身,特別是目前用透過率計(jì)算,國產(chǎn)透過議也就能測測產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過儀如果精度差(這個精度相對誤差非常小才行),折射率有可能高有 .. (2019-08-13 09:42)  z=_Ef3`M  

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我用woollam橢偏儀測得的折射率也是2.16，跟光譜擬合的2.18接近，應(yīng)該是可信的。主要就是請教折射率偏高的原因和改良措施有哪些。

橢偏儀測出來也有誤差,TA2O5料不象ti3o5,建議你可以從新找一臺非常好的透過儀從新測量石英基底和鍍膜后的石英 透過率,如果是MAC盡量在9個極值左右.當(dāng)然只是我個人平時(shí)得出的結(jié)論,并不一定適合你遇到的情況,通常不會比軟件里膜料折射率高,我遇到高的主要是以前是SIO2堆密度做不上去,受潮后折射率變高.

如果測量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 HCJ>X;(`f?  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會帶來致密度比體材料還大。 #D9e$E(J^  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會測量到折射率下降，可伴隨厚度增加。 KdUnD4d  
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膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng)生產(chǎn)研制商。 j.ldaLdG  
膜林晶控儀，值得信賴。呵呵呵。