[分享]VirtualLab傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析 [復(fù)制鏈接]

摘要 Ae^~Cz1qz  
gQelD6c
 
對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 i2A8
1>68<  

eRstD>r  

圖片:1-1ZR3110153312.png

Z{Qu<vy_  
}wjw:M  
建模任務(wù) };bEU wGWf  
'!cCMTj  

圖片:1-1ZR31102241U.png

2dcV"lY  
"f2$w  
1階的參數(shù)優(yōu)化 m 3hrb-  
'8.r-`l(  

圖片:1-1ZR3110300146.png

`?qF$g9u~  
4 Y9`IgQ  
結(jié)果-容差分析 $Sx'sA2  
k&q;JyUi  

圖片:1-1ZR311033c64.png

J+DDh=%  
7P5)Z-K[  
結(jié)果-容差分析 Z1f8/?`W  
K.nHii   

圖片:1-1ZR3110400923.png

gNrjo=  
)0W{]2  
在VirtualLab Fusion中查看 GPv1fearl  
vHc%z$-d  

圖片:1-1ZR31104205S.png

YQ)kRhFA  
>d*@_kJM  
VirtualLab Fusion的工作流程 $q{!5-e  
3`|@H-c9  
•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) &|ex`nwc0  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] Al^d$FaF  
- 傾斜光柵的高級(jí)配置[用例] o5O#vW2Il&  
•分析光柵衍射效率 "'.UU$]d  
- 光柵級(jí)次分析器[用例] 7\[@m3s  
•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) ;_I8^?