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    [求助]MgF2預(yù)融速率過大會不會產(chǎn)生膜料點(diǎn)子的情況？產(chǎn)生膜料點(diǎn)子和臟點(diǎn)子情況有哪些呢？ [復(fù)制鏈接]

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    離線misery_
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-09-16
    MgF2預(yù)融速率過大會不會產(chǎn)生膜料點(diǎn)子的情況？產(chǎn)生膜料點(diǎn)子和臟點(diǎn)子情況有哪些呢？玻璃膜料點(diǎn)子多，這種情況如何解決的？
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-09-17
    降低擋板的高度，MGF2不預(yù)融，用電子槍蒸鍍，點(diǎn)子也還可以啊。
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-09-18
    點(diǎn)子原因非常多，可以說真空室內(nèi)任何一個機(jī)構(gòu)都有可能形成點(diǎn)子。
    離線士官長
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2019-09-28
    預(yù)熔時候如果不開擋板應(yīng)該不會導(dǎo)致點(diǎn)子，開擋板時的速率是最好和設(shè)定速率差不多。
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2019-09-30
    剛才回復(fù)他人帖子時候想到一個可能性。 + >?"P^  
    予熔設(shè)定的電流過低或者過高，導(dǎo)致開擋板瞬間電子槍調(diào)整劇烈的話，也會有噴濺產(chǎn)生。
    離線wflney
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-12-29
    贊同四樓的說法
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-02-01
    設(shè)備用了多久了 kOi@QLdN  
    離線morningtech
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2020-02-01
    版主說的有道理。束流急劇變化，確實易產(chǎn)生點(diǎn)子。 -DWyKR= j"  
    預(yù)熔；大光斑，低束流，功率慢變（調(diào)小P值），調(diào)小最大功率。 d~#>.$Uu  
    膜林晶控儀的最大功率延遲，出發(fā)點(diǎn)就是防止開擋板后的束流劇變，對防噴濺有點(diǎn)點(diǎn)幫助。