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    [求助]鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算? [復(fù)制鏈接]

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    離線gmss1111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-27
    小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè),請教下如何計算鍍膜材料的tooling,比如說校準(zhǔn)sio材料,在鍺基片上鍍膜,鍍了350nm,膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰,到底選哪個,怎么計算啊。 Lg53 Ms%  
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù),用光控時老師把它叫作比例系數(shù), jV8><5C  
    晶控上寫作Tooling Factor,有人簡稱它tooling,有人直譯為工具因子,膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云,雖慢慢耳熟,仍要改)。