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    [求助]鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算? [復(fù)制鏈接]

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    離線gmss1111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-04-27
    小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè),請教下如何計(jì)算鍍膜材料的tooling,比如說校準(zhǔn)sio材料,在鍺基片上鍍膜,鍍了350nm,膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個(gè)峰,到底選哪個(gè),怎么計(jì)算啊。 h=`1sfz  
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個(gè)參數(shù),用光控時(shí)老師把它叫作比例系數(shù), SyWLPh  
    晶控上寫作Tooling Factor,有人簡稱它tooling,有人直譯為工具因子,膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時(shí)不知所云,雖慢慢耳熟,仍要改)。 -1P*4H2a  
    理想情況下,有了正確的tooling值,晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計(jì)厚度了。 [L+VvO%cT  
    *wY { ~zh  
    定義上,晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% (wtw1E5X  
    假定工藝不變情況下,第一次鍍膜時(shí)的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確,樣品實(shí)測厚度與設(shè)計(jì)厚度有偏差,需要修正。 5 Y|(i1  
    修正值  T2 = T1 * 樣品實(shí)測厚度/設(shè)計(jì)厚度 1}$GVb%i  
    4qc 0QA%  
    3|FZ!8D  
    先思考一下,把你問題中的參數(shù)看怎么對應(yīng)到上面式子里。
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    光跡 光幣 +2 精彩回帖,獎勵! 2020-06-27
    cyqdesign 光幣 +10 熱心助人,鼓勵! 2020-04-27
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-04-27
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    離線17873333033
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-04-27
    2樓講解的很詳細(xì),謝謝大師,我這里有高純度SIO2便宜處理,由于今年訂單減少,大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請給實(shí)體行業(yè)一點(diǎn)支撐。17873333033
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-04-30
    自己用TFC擬合吧,先把sio2膜厚設(shè)定到350nm,然后慢慢減少,到和你實(shí)際的圖像重合。 M-B