[求助]鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？ [復(fù)制鏈接]

小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計(jì)算鍍膜材料的tooling，比如說校準(zhǔn)sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個峰，到底選哪個，怎么計(jì)算啊。 4yhcK&  

為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個參數(shù)，用光控時老師把它叫作比例系數(shù)， R^uc%onP  
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 D6Dn&/>Zp  
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計(jì)厚度了。 ekrBNDs9  
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定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% HXyFj  
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確，樣品實(shí)測厚度與設(shè)計(jì)厚度有偏差，需要修正。 f7ZA837Un  
修正值  T2 = T1 * 樣品實(shí)測厚度/設(shè)計(jì)厚度 &