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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) CpeU5 o@ 應用示例簡述 W~~7C,! 1. 系統(tǒng)說明 s!c`= 光源 B!_mC<*4`X — 氙氣燈(部分相干白光) C|).;V& 組件 %gyLCTw — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 KB`!Sj\ 探測器 bg&zo;Ck8T — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應 ?:8ido#- 建模/設計 Vp*KfS] — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 %]DP#~7[| — 幾何場追跡Plus(GFT+): $M lW4&a| 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 bE#,=OI$ 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化
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