我國開發(fā)新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù) 可加工石墨烯

10日，記者從中科院長春光學精密機械與物理研究所獲悉，來自該所等單位的研究人員，開發(fā)了一種新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)(FPL)。利用該技術(shù)，研究人員在百納米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面實現(xiàn)了高質(zhì)量微納周期結(jié)構(gòu)的快速制備。相關(guān)成果發(fā)表在《光：科學與應用》上。 *}):<nB$^  
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