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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 , w_C~XN$t 2.測量樣本。 1mx;b)4t 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 2{L[D9c/6 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 G:MQ_tfr& V_)465g 系統(tǒng)簡介 j*_#{niy:
m9Dg %\ B 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 XJ3aaMh" l +O\oD? - 特征及技術(shù)參數(shù) 5eas^Rm
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96|F - 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。 }i\_`~ - 靈敏度R_q<0.5 nm FFf
~Vmw - 測量時間： < 1 s。 l{_1`rC' - 與輪廓儀直接相連——測量結(jié)果可直接比較。 V}4u1oG pz/vvH5 FsfP^a 傳感器： !]!9 $6n
{^K&9s z Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動的光學(xué)傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ)，用于測量表面粗糙程度。測量范圍可從微米級到亞納米級。 BCr*GtR)W @ds.)sKA> 應(yīng)用： Wt! NLlN8
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可在下列領(lǐng)域中進行快速，不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測： X!]p8Q y - 平面或復(fù)雜（自由形狀）表面。 }4xz,
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