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    [原創(chuàng)]關(guān)于光刻 [復(fù)制鏈接]

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    離線wmh1985
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-05-27
    光刻關(guān)鍵技術(shù)，太多了，光刻物鏡只是其中一個(gè)小部分，中國(guó)本土光刻物鏡做的好的不多，所以要真正實(shí)現(xiàn)可以和ASML相當(dāng)?shù)墓饪虣C(jī)，還有一段很長(zhǎng)的路！
     
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