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當光柵的特征尺寸與波長相當時,具有偏振相關(guān)的光學特性。這使得難以針對任意偏振設(shè)計出具有高衍射效率的光柵。我們將展示如何嚴格分析光柵的偏振相關(guān)特性,以及如何使用參數(shù)優(yōu)化設(shè)計具有高衍射效率的偏振無關(guān)光柵。 -uy}]s5Qu MSRIG- >=C)\Yfu) 1hi^ 建模任務(wù) nHyWb6 z7HC6{g%X /\
~{ 光柵特性與參數(shù)的嚴格分析 k(%RX_]C 7dV^35 KP 不同光柵周期下的衍射效率 ;u}MG3Y8 cX* PCt&66F
`1M_rG1/+ 關(guān)于光柵周期選擇的考慮 3,N7Nfe V&h,v%$ |])%yRAGQ z_A%>E4 偏振相關(guān)的衍射特性 4.H!rkMM OjrQ[`(E /*rMveT c{||l+B Y*wbFL6` 9FPl ~;bwfp_ 0A5xG& 通過參數(shù)優(yōu)化進行光柵設(shè)計 }@1LFZx Y$oBsg\v 固定周期的2D參數(shù)優(yōu)化 "]zq<LmX 8b6:n1<fn A{&Etu(K 2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計1 ,ZMYCl] -bo0!@MK d{ OY V+Cb.$@ 2D參數(shù)優(yōu)化–設(shè)計2 #BT=
K 4XX21<yn MKoN^(7 q' _ 制造公差分析–設(shè)計2 'y'>0'et r8Gq\ ^ &,NHk9.aq pC#Z]_k 變化光柵周期的3D參數(shù)優(yōu)化 <@;e
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