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摘 要 rOt`5_2f )ZU)$dJ>V 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 }@kD&2 {*gO1TZt9 建模任務(wù) v"y0D n+C]&6-b K.y2 $b/ ,]1oG=`3v 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 8oM]gW;J~ }:5_vH0 OLThi[Yn q
.[hwm 圓柱面下的觀測(cè)條紋 IFrq\H0 n"[VM=YGI [D8u.8q lzJ[
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