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摘要 =>Vo|LBoe &Z_W*D 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 J(0.eD91v Kc*h@#`~oL 1. 本案例主要說明: )g:\N8AZK 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: 9}FWO&LiB - 基于介質(zhì)的定義類型 Yw=Ve 0 - 基于表面的定義類型
]k%Yz@*S 計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 M* (]hu0! 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 }"<|.[V) /'IOi`d 2. 光柵工具箱初始化 tm~V+t!mj 初始化 )eNR4nF - 開始→ BF2,E<^A 光柵→ @<e+E"6 一般光柵光路圖(3D光柵) Y&aFAjj >C~-*M9 #CoJ S[t 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 1Tf"<Dp +?n81|7` 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 *
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:,5 首先,必須先定義基底的厚度與材料 ;BqYhi 在VirtualLab中,光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義 8*3<Erv 堆?梢愿綄僭诨椎囊粋(cè)或兩側(cè)。 {%xwoMVc+ 例如,堆棧選擇附屬在第一表面。 A^2VH$j]+ C)`k{(-{ 基于介質(zhì)的定義類型 NH$a
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