超透鏡是一種通過將具有特殊電磁特性的光學天線,按照一定方式進行排列的二維平面透鏡結構,可實現(xiàn)對入射光振幅、相位、偏振等參量的靈活調控,可以用在超分辨顯微成像、全息光學、消色差透鏡等方面。超透鏡可以將包括白光在內的整個可見光譜,聚焦在同一點上且具有很高的分辨率。 %XeU4yg\e
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一方面,通過導入ZEMAX的Binary 2 Surface,VirtualLab Fusion可以對功能性的MetaLens進行建模和仿真,以研究其相位調制效果;另一方面,VirtualLab Fusion也可以通過傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及參數(shù)運行(New Parameter Run)和參數(shù)優(yōu)化(New Parameter Optimization)功能,實現(xiàn)MetaGrating的設計和優(yōu)化,以獲得偏振無關和高效率的光柵結構。 2H#vA
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對于MetaLens以及MetaGrating,我們采用了納米壓印技術,結合沉積、刻蝕等半導體工藝技術,可以實現(xiàn)低成本大面積的超透鏡結構加工。 q.7CPm+
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