摘要：慣性約束聚變高功率固體激光裝置研制對大口徑光學(xué)元件提出了全頻段精度控制指標(biāo)要求，以及高效率、批量 化制造需求。本文圍繞“超精密、確定性”強(qiáng)激光光學(xué)元件全流程制造方法，總結(jié)了近幾年大口徑強(qiáng)激光光學(xué)元件超 精密制造技術(shù)取得的重要進(jìn)展，重點介紹了單點金剛石超精密切削技術(shù)、非球面超精密數(shù)控磨削技術(shù)、確定性拋光技 術(shù)等一系列關(guān)鍵技術(shù)，以及相關(guān)工藝及裝備在強(qiáng)激光光學(xué)元件批量制造流程線中的應(yīng)用情況。 PdNxuy
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關(guān)鍵詞：高功率固體激光裝置；大口徑光學(xué)元件；光學(xué)超精密制造技術(shù)；確定性拋光
