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摘要 @9P9U`ZP y/*Tvb #TJ 像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 %lW:8ckL u\Q**m2XP ~l(tl[ HSFf&|qqx 光柵仿真中的非偏振光 Z 2jMBe •光柵分析 gM[
J'DMW −對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算 3$f5][+U 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 *G"#.YvE dllf~:b •非偏振平面波 X(q=,^Mp −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。 tF1%=&ss −任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底投影,并且統(tǒng)計(jì)上,非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。 tce8*:rNH −因此,我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。 | (9FV^_ AsF`A"Cdw< p%_
:( nezbmpL4 光柵仿真中的光源設(shè)置 Eu~wbU"% •手動(dòng)控制光源偏振態(tài) q)y8Bv| −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 P&,cCR>
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