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摘要 *BsK6iVb 0fOhCxtL@ 像光柵這樣的光學設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此，在仿真中適當考慮光的偏振非常重要。 在實際中，光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值，我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此，我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 d VbFMQ&
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Q9dF, 光柵仿真中的非偏振光 ME)Tx3d •光柵分析 !l%: −對于使用傅立葉模態(tài)方法（FMM / RCWA）的單光柵分析，使用平面波入射來計算 jo e)b 例如：作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 83v Mj$P \BnU ?z •非偏振平面波 U,#~9 −考慮到沿z方向的平面波，可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。 ?%6oM −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底投影，并且統(tǒng)計上，非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。 %,@pV%2 −因此，我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值，并以非相干方式表示非偏振光。 yT7$6x
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q 光柵仿真中的光源設(shè)置 k6b ct@7 •手動控制光源偏振態(tài) F vkyp"W3 −在VirtualLab Fusion中，光始終以矢量形式表示，并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 'zYS:W −按照基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如，通過選擇TE和TM偏振作為兩個正交基，分別執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結(jié)果。 G&*P*f1 S
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