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    [分享]錐形相位掩模的Talbot像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-02-07
    摘要 =jUnM> 23  
     G;2[  
    在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。 8*)4"rS  
    EW;1`x  
     c(:Oyba  
    ;Id"n7W  
    建模任務(wù) #7C6yXb%  
    ^f0(aYWx  
     #ko6L3Pi  
    結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)來自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 96)v#B?p  
     RO$*G jQd  
    某一位置的Talbot圖樣 @H4wHlb  
    <{ # <5 8  
     V g6S/-  
       )]}$   
    某一位置的Talbot圖樣 y^YVo^3  
    p|s2G~0<  
     I}ndRDz[  
    Cg*kN"8q  
    不同位置的Talbot圖樣 XC}1_VWs  
    Xr2 Wa  
     (-'PD_|  
    fr]Hc+7  
    不同位置的Talbot圖樣 `r9^:TMN  
    /gX%ABmS  
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    沿Z軸的強(qiáng)度 iW-t}}Z>B  
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