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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-24
    sx-Hw4.a"  
    摘要 RP|>&I  
    0,~6TV<K  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應。 ;1R?9JN"  
    hk5E=t~&  
    ;5Wx$Yfx  
     B::4Qme  
    建模任務(wù) ,yM}]pwlB  
    i>]<*w  
     _']%qd"%  
    oXQ<9t1(  
    入射平面波 F; MF:;mM  
    波長 2.08 nm _@BRpLs:4  
    光斑直徑： 3mm Hlt8al3  
    沿x方向線偏振 n2jvXLJq  
    f- k|w%R@  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ 'Ffy8z{&3  
    如何計算包含矢量效應的焦點的強度分布？ m<FWv2)^  
    =YXe1$ $  
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