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      [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]
      
      		

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只看樓主
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樓主  發(fā)表于: 2021-03-24

      



      


      

      



      

      


      

      
 k
vue@  
      摘要 e@2E0u4
  
        G]m[S-  
      高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 #LrCx"_&  
       ]$?zT`>(F  
       w>9H"Q[  
              P&-D0T_  
      建模任務(wù) L_.xr
?  
       YN5OuKMUd'  
       @y;tk$e  
        Y|x6g(b  
      入射平面波 'EH  
      波長(zhǎng) 2.08 nm "x=@,*Bk  
      光斑直徑： 3mm 3
4A&LBwC  
      沿x方向線偏振 	mNBpb}  
        r=P$iG'&  
      如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析？ _I
-0,  
      如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？ @tjZvRtZ  
        %DND&0`  
      概覽 B4*X0x  
      •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 )l[7;ZIw$  
      •接下來(lái)，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 oRvm*"8B  
              dZ]\1""#H  
          <5!RAdaj+  
      光線追跡模擬 q*<J$PI  
      •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 W