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    [分享]鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-15
    案例246.01：鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬 1DLAfsLlj  
     (E[c-1s  
    這個案例演示了對于鍍膜光柵的嚴格模擬，它說明了鍍膜對所有反射級次的總反射效率的影響。 z@Pv~"  
     KPHtD4  
    關鍵詞：嚴格分析，FMM，正弦光柵，鍍膜 _UI*W&*  
     <N KmLAfX  
    所需工具箱子：光柵工具箱 Td(eNe_4T  
     Vq-W|<7C=  
    相關案例：G.001a,Scenario 104.01 VokIc&!Uz  
     >>bsr#aJ  
    建模任務 ",O |uL  
    ut j7"{'k|  
    加載例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一個正弦光柵，使用光柵效率分析器分析光柵。 _@2}zT  
    IyK^` y  
    Jui:Ms  
    雙擊General 2D Grating component選擇Struture Function 頁面，打開編輯對話框，添加光柵。 .Q!_.LX  
     [`J91=  
    7qsu0 .[d  
    為了在嚴格模擬時添加鍍膜，必須將堆棧作為一個序列的表面和材料添加進來。點擊Stack Tools,選擇Insert Coating。 iq1HA.X(  
     fVJlA  
    f.)z_RyGd  
    選擇光學界面no.1作為鍍膜表面。點擊 按鈕來載入膜層目錄。     N> 7sG(!'"  
    qtrN=c3x  
    00SYNG!  
    ^#( B4l!  
    選擇Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,點選Stack01_632.8nm。選擇OK關閉對Edit Coating Tool話框。 p>oC.[:4a  
    pmwVVUEQ  
    ;*u"hIl1/  
    堆棧編輯器包含頂層表面的膜層。點擊OK關閉堆棧編輯器。點擊底部的OK按鈕來關閉元件對話框。使用光柵效率分析器分析光柵。 76::X:76  
    [J!jp& o  
    OCW0$V6;D-  
    X線偏振光模擬結果：
    S@Iza9\|@  
    U_Jchi,!  
    探測器主窗口中可以看到結果信息，鍍膜后的反射率顯著加強。 *jR4OY|DXH  
    在Ideal Plane Wave 光源編輯對話框中改變偏振態(tài)為y方向線偏光。這里有兩個預先設置好的例子文件來演示y線偏光。 &u+l`F^Z  
    7F5v-/  
    \qf0=CPw8  
    Y線偏光模擬結果 pq"Z,9,F%  
    z`}z7e'>  
    $-=xG&fSz  
    對于y線偏光同樣鍍膜會顯著增加反射率。 PfR|\{(  
    結論： &L[i"1a  
    嚴格的鍍膜光柵模擬需要將膜層定義為序列的表面。光柵工具箱允許分析使用VirtualLabTM自帶的膜層庫中的膜層鍍膜效果。VirtualLabTM可以考慮膜層在法矢方向上厚度的減小，這是加工過程中經常出現的問題。 dl]pdg<  
    QQ：2284816954 備注：光學     R?t_tmKXC!  
     
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