分享空間光調(diào)制器的MEMS技術(shù)應(yīng)用

空間光調(diào)制器使用具有一個(gè)單點(diǎn)探測(cè)器、基于光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 陣列技術(shù)的全新方法可以克服傳統(tǒng)光譜分析方法中的很多限制。在基于單點(diǎn)探測(cè)器的系統(tǒng)中，一個(gè)固態(tài)光學(xué)MEMS陣列用簡(jiǎn)單、空間波長(zhǎng)濾波器取代了傳統(tǒng)的電動(dòng)光柵。 Wt!;Y,1s  
這個(gè)空間光調(diào)制器方法可以在消除精細(xì)控制電動(dòng)系統(tǒng)中問(wèn)題的同時(shí)，利用單點(diǎn)探測(cè)器的性能優(yōu)勢(shì)。近些年，此類(lèi)系統(tǒng)已經(jīng)投入生產(chǎn)，其中，掃描光柵被取代，并且MEMS器件過(guò)濾每一個(gè)特定波長(zhǎng)進(jìn)入單點(diǎn)探測(cè)器。