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JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 ,9?'Q;20 6\5U%~78 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來(lái)的挑戰(zhàn)。 !-N!80 .&sguAyG 計(jì)算光刻 `t6lnO N"r ;d+LTL \W= 1'aS2vB9 JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對(duì)復(fù)雜照明的描述,通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場(chǎng)的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。 _Fz)2h,3 I]k'0LG*^ 計(jì)算計(jì)量學(xué) gKYn* "*7I~.7U(* Bs#
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