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JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 -a3+C,I8g H*|Bukgt/M 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 ,Z_nV+l_ v)N6ZOj*C 計(jì)算光刻 pvy;L[c /(n)I -j3 -H& !=&]#-;b JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對(duì)復(fù)雜照明的描述,通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場(chǎng)的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。 y5a^xRDw /Re1QS 計(jì)算計(jì)量學(xué) &\sg~ $$ _
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