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1.Horos—光學粗糙度傳感器。 HgBu :x?& 2.測量樣本。 VE1j2=3+o 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 8j := D!S 4.Horos—光學材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 wA)n ryXV Plhakngj 系統(tǒng)簡介 ,V^$Me h
;t,v/(/3 隨著光學技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學材料或光學薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學表面均可。 @8+v6z [hk/Rp7{ 特征及技術(shù)參數(shù)
Qw
}1mRv
y$_]}<b - 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。 8 ?x:PkK - 靈敏度R_q<0.5 nm ?Zk;NL9 - 測量時間： < 1 s。 $<Y%4LI - 與輪廓儀直接相連——測量結(jié)果可直接比較。 3-)}.8F N8x.D-=gG NV@ $\ < 傳感器： (<-m|H};
g+c%J#F= Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動的光學傳感器。它以散射測量為基礎(chǔ)，用于測量表面粗糙程度。測量范圍可從微米級到亞納米級。 wO`G_!W9 &
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c^9<F 應(yīng)用： {^^LeUd#V
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可在下列領(lǐng)域中進行快速，不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測： fn y6`_O - 平面或復雜（自由形狀）表面。 98 ]pkqp4 - 光學加工（表面加工，鍍膜，制作模具等）。 g
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