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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。
PL:(Se% 2.測(cè)量樣本。 ~fXNj-'RW 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測(cè)量結(jié)果。 uKJ:)oyaCP 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測(cè)量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 ,P~e)<. Cd%5XD^ 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 @@ Q4{o
?@"@9na 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對(duì)于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測(cè)量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測(cè)量表面粗糙程度。它具有非接觸式測(cè)量，快速測(cè)量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 i2qN
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