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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-08-10
    鍍膜傾斜光柵通過(guò)VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 |E^|X!+9  
    Rlw3!]5+2  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） J!p<oW)a!  
    ]+%=@mWYs  
    所需工具：Grating Toolbox Basic *\ECf .7jz  
    4rp6 C/i  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 c> ~:dcy  
    建模任務(wù) %z)EO9vtr  
    Tg''1 Wl*  
    理想平面波照射 rc{o?U'^-  
    ukihx?5  
    =5s$qb?#  
    J(9=T<%T  
    I'InZ0J2  
    08r[K(bfb,  
    鍍膜傾斜光柵 YFvgz.>QE  
    目標(biāo)平面 >q9{  
    VGJDqm!  
    周期：10um cU | _  
    厚度：10um - L`7+  
    傾斜角度：20度 ^!uO(B&  
    \=g!$  
    光柵的參數(shù) fsI`DjKi)  
    P"Rk?lL  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) vKkf2 7  
    &kx\W)  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) X[{\ 3Av  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 n/-N;'2J  
    —光柵厚度 ca}S{"  
    K~JC\a\0  
    Y[,U_GX/R  
    GfNWP  
     Dauo(Uhuo  
    3G(skphE  
    設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn) @`2ozi~lO  
    ULrbQ}"cva  
    2dyxKK!\a  
    2       設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn)以確定膜層 1Kc{#+a^  
    >rRjm+vg  
    dcR6KG