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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-08-10
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 iOXP\:mPo  
    ={0{X9t?'j  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） A,[m=9V  
    12DdUPOi  
    所需工具：Grating Toolbox Basic !eoec2h#5  
    z4+6k-#):  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 67:<X(u+!  
    建模任務(wù) s(9rBDoY(8  
    %~VIxY|d  
    理想平面波照射 ~\IDg/9 Cj  
    c,%>7U(w_  
    n#'',4f  
    3Qr!?=nf  
    #]HjP\C  
    nhhJUN?8  
    鍍膜傾斜光柵 KgAX0dM  
    目標(biāo)平面 Y6DiISl  
    |MrH@v7S  
    周期：10um @Iatlz*W  
    厚度：10um 3VB V_/i;  
    傾斜角度：20度 htSk2N/  
    HON[{Oq  
    光柵的參數(shù) 6oBt<r?CJ  
    rzj'!~>U  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) M_)T=s *  
    LMzYsXG*[  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) Bq8<FZr#!  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 RIc<  
    —光柵厚度 ;.a)r  
    Z|wDM^Lf  
    =#fvdj  
    ]g!<5 w  
     /qze  
    #!@ ]%4  
    設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn) lv&w