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[求助]關(guān)于磁控濺射 [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-03-11

磁控濺射的靶在用一段時(shí)間之后，在靶邊緣的特定區(qū)域總是會(huì)發(fā)藍(lán)，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，請(qǐng)問(wèn)是怎么回事？還有濺射鍍膜的均勻性不好，有什么可以改善的方法嗎？

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