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    [技術]檢查微型晶片的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-15
    任務/系統(tǒng)說明 uZ*;%y nQ  
    ;cIs$  
    +avu&2B  
    /m%Y.:g  
    亮點 'l2'%@E>  
    s)W^P4<  
     */ZrZ^?o  
    U}(*}Ut  
     在復雜光學系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） Zuod1;qIh  
     嚴格分析光柵衍射效率 D]resk  
     考慮入射光的方向分布 qazM@  
    9r% O  
    說明：光源 !u@e^J{Ao  
    C0;c'4(  
    X2!vC!4P?L  
    k_.%(ZE  
    說明：光束分束器 n\&[^Q#b|  
    io^^f|  
    <hg