[技術(shù)]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

任務(wù)/系統(tǒng)說明 6]_pIf  
o]` *M|  
.TR9975  
a 3b/e8c  
亮點(diǎn) 2LL'J7  
m
)zUU  
+p_CN*10H  
axRV:w;E<  
 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） VT%NO'0  
 嚴(yán)格分析光柵衍射效率 OwUhdiG  
 考慮入射光的方向分布 vNY{j7l/W  
mpEK (p  
說明：光源 Ae^~Cz1qz  
-M~:lK]n  
@* jz o  
He/8=$c%  
說明：光束分束器 uR4z&y  
+z\^t_"f  
B+VubUPMS  
K?Nhi^f"L  
說明：檢測透鏡系統(tǒng) |=ba9&q  
'$IKtM`L  
x0D*U?A  
_|\~q[ep  
說明：微型晶片 9r<J"%*Q  
qzLP
w*;  
-1_)LO&H  
*NaB#;+|k`  
說明：檢測物鏡 Jbg/0|1  
\gGW8Q;  
M}-Rzc  
dNH08q8P  
說明：探測器 O`\;e>!t  
%y[h5*y*  

9(7-{,c  
J#(LlCs?@c  
結(jié)果：3D光線追跡（只有0級） 4G0m\[Du  
W:nef<WH  
\fdv]f  
EU;9*W<  
結(jié)果：3D光線追跡（所有級） EjR9JUu  
T!kN)#S  
XJ\DVZ  
U&OJXJdj  
結(jié)果：光線追跡 |F[+k e  
KC6.Fr{  
5m 4P\y^a  
pa3{8x{9m  
結(jié)果：場追跡 P>D)7V9Hh  
_8J.fT$${  
"m8^zg hL  
:\c ^*K(9  
結(jié)果：線性偏振光的場追跡 8q!]y6  
*OsQ}onv  
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