=d5;F`m 衍射
光柵是通過周期性
結(jié)構(gòu),對入射光的振幅或相位(或兩者同時)進行周期性空間調(diào)制。衍射光柵不僅用于
光譜學(xué),還廣泛用于計量、光通訊、信息處理等領(lǐng)域。衍射光柵種類很多,常用的有閃耀光柵、全息光柵、矩形光柵等。
b&h'>( AR增強現(xiàn)實眼鏡可以使用衍射光柵(又被稱為浮雕光柵)來實現(xiàn)光波導(dǎo)。相比于幾何光波導(dǎo),浮雕光柵波導(dǎo)可以將AR眼鏡做得更輕薄,更適合消費類
電子領(lǐng)域的應(yīng)用。為了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達到最高,AR鏡片的入射光柵最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光柵(blazed grating),但這兩種光柵的設(shè)計和加工難度都很高。
oupWzjo cOpe6H6,bz 基于VirtualLab Fusion內(nèi)置的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM/RCWA)以及
參數(shù)掃描(New Parameter Run)和參數(shù)
優(yōu)化(New Parametric Optimization)功能,能夠針對不同的
視場角,快速的完成傾斜光柵以及閃耀光柵等的設(shè)計并對所需的級次進行優(yōu)化,以獲得最大的耦合效率,最后導(dǎo)出GDSII結(jié)構(gòu)以進行微納加工。
,|\\C6s 3)=ix. wW 目前,我們除了可以提供各種常用的衍射光柵
標準產(chǎn)品之外,還可以提供客戶化的定制加工服務(wù)。特別是可以實現(xiàn)
納米級的斜齒光柵和三角形的閃耀光柵的加工。
m2(}$z3e _UkBOJ:G$H cL4Go,)w 左圖:基于VirtualLab Fusion設(shè)計的傾斜光柵折射率分布;右圖:加工所得的傾斜光柵