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)~ 衍射
光柵是通過周期性
結(jié)構(gòu),對入射光的振幅或相位(或兩者同時(shí))進(jìn)行周期性空間調(diào)制。衍射光柵不僅用于
光譜學(xué),還廣泛用于計(jì)量、光通訊、信息處理等領(lǐng)域。衍射光柵種類很多,常用的有閃耀光柵、全息光柵、矩形光柵等。
UM+g8J{$*; AR增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)眼鏡可以使用衍射光柵(又被稱為浮雕光柵)來實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)。相比于幾何光波導(dǎo),浮雕光柵波導(dǎo)可以將AR眼鏡做得更輕薄,更適合消費(fèi)類
電子領(lǐng)域的應(yīng)用。為了使往眼睛方向衍射的光耦合效率達(dá)到最高,AR鏡片的入射光柵最好使用斜齒 (slanted grating)或者三角形的閃耀光柵(blazed grating),但這兩種光柵的設(shè)計(jì)和加工難度都很高。
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l 基于VirtualLab Fusion內(nèi)置的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM/RCWA)以及
參數(shù)掃描(New Parameter Run)和參數(shù)
優(yōu)化(New Parametric Optimization)功能,能夠針對不同的
視場角,快速的完成傾斜光柵以及閃耀光柵等的設(shè)計(jì)并對所需的級次進(jìn)行優(yōu)化,以獲得最大的耦合效率,最后導(dǎo)出GDSII結(jié)構(gòu)以進(jìn)行微納加工。
!JjNm*F[ ;,B $lgF 目前,我們除了可以提供各種常用的衍射光柵
標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品之外,還可以提供客戶化的定制加工服務(wù)。特別是可以實(shí)現(xiàn)
納米級的斜齒光柵和三角形的閃耀光柵的加工。
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