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    [求助]多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大 [復(fù)制鏈接]

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    離線songyanxia
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-02-09
    關(guān)鍵詞： 減反膜離子源
    設(shè)備為德國(guó)萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個(gè)波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實(shí)際測(cè)量曲線與理論相差非常大，波峰為4個(gè)，波峰最大值超過(guò)2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過(guò)了。
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-02-23
    AR膜好像從來(lái)沒(méi)有和設(shè)計(jì)一樣的。 8ax3"G  
    慢慢用模擬軟件模擬著修吧。 Dw2$#d  
    w{ x=e  
    先確定氧是足夠的（沒(méi)有失氧），先修敏感層。 $4TawFf"nc  
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-02-28
    同意一樓說(shuō)法 可以用TFC的Interactive Analysis 模擬看看是那一層影響
    離線flyinlove79
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-04-17
    材料參數(shù)偏差、膜厚控制誤差、折射率不均勻等都會(huì)導(dǎo)致實(shí)測(cè)曲線和理論曲線間的偏差。
    離線shenhan0701
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-06-06
    同樣的材料，厚度不同，tooling是不一樣的，一般來(lái)說(shuō)100nm以下，越薄的層tooling越小，模擬看看吧
    在線f4213705
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-06-10
    同意一樓說(shuō)法
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2022-06-21
    模擬確認(rèn)哪一層或者哪個(gè)材料出現(xiàn)偏差了