[求助]多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大 [復(fù)制鏈接]

設(shè)備為德國萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個(gè)波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實(shí)際測(cè)量曲線與理論相差非常大，波峰為4個(gè)，波峰最大值超過2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過了。

AR膜好像從來沒有和設(shè)計(jì)一樣的。 J.<%E[ z  
慢慢用模擬軟件模擬著修吧。 |Lhz^5/  
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