JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域
"|%9xGX|D 4*x!B![]y 現(xiàn)代
納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。
O@iW?9C+ Rs`a@ Fn 計(jì)算光刻
& r%*_pX PoJ$%_a} F-^HN % +,Az\aT/% JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對復(fù)雜
照明的描述，通過光學(xué)
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計(jì)算，直至在光刻膠中形成圖像。
opMUt,4 s3{s.55{m 計(jì)算計(jì)量學(xué)
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#-T.@a1X 1v&Fo2ML 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是，快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。
FRFAWK< cO,V8#H 波導(dǎo)和
光纖 A+I&.\QAR C8E
