JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域
K2\)9 Wsp c;]& 現(xiàn)代
納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。
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照明的描述,通過光學(xué)
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。