[原創(chuàng)]關(guān)于射頻中和器陰極材質(zhì)和形狀的一點(diǎn)知識(shí) [復(fù)制鏈接]

最近接到新柯隆射頻離子源的中和器問(wèn)題的問(wèn)詢(xún)比較多，大多數(shù)問(wèn)題和客戶一起解決了。 o ?vGI=
  
新柯隆中和器因?yàn)槭亲云ヅ洌�沒(méi)有手調(diào)的地方），所以一旦發(fā)生問(wèn)題，很多客戶都是一頭霧水。 &l7E|.JE  
我在這里普及一點(diǎn)我知道的知識(shí)，希望大家碰到問(wèn)題的時(shí)候能夠給一些幫助。 eGq7+  
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很多中和器問(wèn)題的原因1：陰極的材質(zhì) ap )B%9  
新柯隆老款是鎳，新款是鉭。（中間有摻雜，并非純的） "lw|EpQk`  
鎳的優(yōu)點(diǎn)是軟，容易修正形狀。但是鎳在300度以上很容易氧化。 )Ln".Bu,  
我客戶新舊兩款中和器上，同樣的副廠鎳電極，同樣的冷卻時(shí)間。 Lu.+J]Rz  
老款中和器穩(wěn)定運(yùn)行，但是新款設(shè)備的鎳電極很快就氧化了。
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（陶瓷杯內(nèi)部很多渣，產(chǎn)品表面麻點(diǎn)，中和器不穩(wěn)定） j;y~vX b  
估計(jì)是新老兩款中和器的溫度或者散熱速度不一樣。 U< G