[討論]關于高速超精密激光干涉儀 [復制鏈接]

哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機樣機集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機又近了一步。 /BaXWrd+  
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