新型測(cè)量工具可提高微芯片生產(chǎn)

發(fā)布：cyqdesign 2023-09-14 18:15 閱讀：1309

MESA+納米技術(shù)研究所的研究人員開(kāi)發(fā)了一種工具，可以同時(shí)測(cè)量等離子體源的大小和它發(fā)出的光的顏色。同時(shí)測(cè)量這兩者，使我們能夠進(jìn)一步改進(jìn)光刻機(jī)，以制造更小、更快、更先進(jìn)的芯片。這篇文章在《光學(xué)快報(bào)》上作為編輯精選而受到關(guān)注。

光刻機(jī)是幾乎所有電子設(shè)備都需要的微芯片制造過(guò)程中的核心。為了生產(chǎn)最小的芯片，這些機(jī)器需要精密工程的透鏡、鏡子和光源。XUV光學(xué)集團(tuán)的助理教授Muharrem Bayraktar解釋說(shuō)：“傳統(tǒng)上，我們只能看到產(chǎn)生的光量，但為了進(jìn)一步改進(jìn)芯片制造過(guò)程，我們還想研究這種光的顏色和光源的大小。”

極紫外光是由等離子體源發(fā)射的，它是通過(guò)將激光對(duì)準(zhǔn)金屬滴而產(chǎn)生的。通過(guò)幾組特殊的鏡子，這種光被對(duì)準(zhǔn)硅片，以創(chuàng)建可以想象的最小的微芯片。Bayraktar說(shuō)：“我們希望使等離子體盡可能小。太大了，你就會(huì)“浪費(fèi)”很多光，因?yàn)殓R子不能捕捉到所有的光�！�

除了大小，發(fā)射的顏色也很重要。Bayraktar說(shuō)：“等離子體不僅發(fā)射極紫外光，還發(fā)射其他顏色的光�！� 有了這個(gè)新工具，研究人員可以同時(shí)觀察大小和顏色。這使得研究等離子體源的大小與它發(fā)射的光的顏色之間的關(guān)系成為可能。

對(duì)于這個(gè)新工具，研究人員使用了錐形區(qū)域板和透射光柵的組合。這兩者都是在MESA+上生產(chǎn)的。錐形區(qū)域板是專(zhuān)門(mén)的光學(xué)元件，可以操縱極紫外光來(lái)精確地成像等離子體源。透射光柵將光分散成單獨(dú)的顏色，使單獨(dú)測(cè)量它們成為可能。

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